This paper presents a novel flexible airflow sensor based on four curved microcantilevers arranged in a cross-form confi......

Piezoresistive MEMS pressure sensor always has better performance than other pressure sensors in harsh environment.In or......

We report on a simple yet efficient approach to fabricate soft piezoresistive pressure sensors using copper nanowires-ba......

针对传统滑线式机油压力传感器不足,设计制作了一种陶瓷压阻式机油压力传感器。利用自搭建的温度压力测试系统对其进行了标定与测......

在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量，例如，分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况，既需要测试......

为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏，需要在结构中合理设计阻尼．设计了一个复合量程压阻式微加速度计，为了使结构中......

采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片；通过动力学分析和有限元模拟，研制出了具......

介绍了一种新型的基于MEMS体硅加工工艺的L形梁压阻微加速度传感器。在加工过程中采用Si—Si直接键合完成底板与传感器支撑框体之......

对压阻式复合惯性加速度传感器的惯性变换系统的结构、特性、工作原理进行了分析讨论,建立了数学模型,所设计的惯性式弹性敏感元件......

介绍了一种新型的基于陶瓷基片加工工艺的π形梁15 000 m/s2厚膜压阻式加速度传感器.在加工过程中采用厚膜工艺与梁加工成型工艺,......

针对动态校准过程中,压阻式高g值加速度计出现动态特性欠佳的情况,用实例与建模仿真相结合的方法,分析了阻尼对压阻式高g值加速度......

介绍了一种流速传感器的工作原理、结构设计和关键工艺。该传感器基于毕托管的工作原理来测量流速,采用压阻式差压传感器测量流体......

基于压阻效应的叠加电桥检测法加速度传感器采用超对称＂八悬臂梁—质量块＂结构,构成惠斯通电桥的力敏电阻器布放在悬臂梁的两端,4个......

固有频率对硅加速度计的性能影响很大。针对目前硅加速度计的固有频率计算公式误差大的缺点，利用力学原理推导了悬臂梁式和双端梁式......

基于网络的压力传感器是由压敏电阻传感器、A/D转换器、微处理器、存储器和接口电路构成的,它能实现各传感器之间、传感器与系统之......

提出了一种基于Si压阻效应的新型MEMS气体传感器，其结构主要是由制作在Si薄膜表面的惠斯通电桥和在Si薄膜表面淀积的一层聚合物气敏......

在过去对技术系统的设计优化通常是根据设计者自己的经验，通过改变一个系统参数来分析系统性能。但随着系统参数的日益增加，这种类型......

考虑量子尺寸效应与自旋轨道耦合作用，从含有应变的6×6 Luttinger-Kohn哈密顿量出发，采用有限差分方法建立了P型硅纳米板的能带......

本文设计了一种基于体微机械加工技术、SU-8-光刻胶工艺和压阻检测的新型硅压阻式流速流向传感器。该传感器由立柱和支撑梁构成,这......

针对当前用于机器人等复杂三维载体表面或活动关节部位的触觉传感器实现高柔弹性和压力检测的难题,该文提出一种8×8阵列的仿生电......

Flexible tactile sensors have broad applications in human physiological monitoring,robotic operation and human-machine i......